一、產(chǎn)品介紹

用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗(yàn)和檢驗(yàn)，如圖像的放大倍率檢驗(yàn)與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺(tái)的復(fù)位檢驗(yàn)等。該標(biāo)準(zhǔn)樣品也是掃描電鏡微米納米長(zhǎng)度精確測(cè)量的最佳標(biāo)準(zhǔn)樣品、是微米長(zhǎng)度測(cè)量的最高可溯源級(jí)別的量值傳遞工具。是多個(gè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等實(shí)施所必需的標(biāo)準(zhǔn)樣品。

二、標(biāo)準(zhǔn)樣品用途

1、可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品。

2、可用于對(duì)圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評(píng)價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的個(gè)重要工具。

3、可直接用于同一量級(jí)物體長(zhǎng)度的精確比對(duì)測(cè)量。

4、對(duì)樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用。

5、利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)。

標(biāo)準(zhǔn)樣品基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。在對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行觀察時(shí)，可看到標(biāo)準(zhǔn)樣品具有良好的導(dǎo)電性，并且在掃描電鏡下所產(chǎn)生的圖形具有很好的對(duì)比度，在掃描電鏡下或光學(xué)顯微鏡下進(jìn)行多次長(zhǎng)時(shí)間的觀察后，未見(jiàn)標(biāo)準(zhǔn)樣品圖形或線距結(jié)構(gòu)發(fā)生變形或其他損壞，即標(biāo)準(zhǔn)樣品在電子束重復(fù)照射下是穩(wěn)定的。

四、標(biāo)準(zhǔn)樣品均勻性

本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的片內(nèi)線距均勻性由德國(guó)聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺(tái)大范圍計(jì)量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進(jìn)行測(cè)量，40μm、20μm、10μm和5μm的線距結(jié)構(gòu)的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片間線距的均勻性送國(guó)家有色金屬及電子材料分析測(cè)試中心掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行檢查，隨機(jī)取10個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品，在相同掃描電鏡工作條件下獲取每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品上每種線距結(jié)構(gòu)的圖像，在每個(gè)圖像上的不同位置取若干個(gè)線距周期測(cè)量4個(gè)長(zhǎng)度數(shù)據(jù)，其測(cè)量結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%，S1000微米一亞微米級(jí)系列標(biāo)樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長(zhǎng)×寬×厚)大小的小方塊。

五、操作使用

使用前應(yīng)認(rèn)真檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品表面有無(wú)污染物和損壞，因?yàn)檫@會(huì)影響校準(zhǔn)。請(qǐng)勿使用已破損或有污染物的標(biāo)準(zhǔn)樣品！可用清潔干燥的空氣或氮?dú)馇宄龢?biāo)準(zhǔn)樣品上的灰塵、碎片或其他污染物，注意不要損壞標(biāo)準(zhǔn)樣品。有條件的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)不定期地通過(guò)與其他標(biāo)準(zhǔn)樣品的對(duì)比來(lái)檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品的特性和用法來(lái)確定其檢查頻率。

下面8張照片顯示了在不同放大倍率下的漂亮圖形和長(zhǎng)度的絕佳精度（放大觀察，蔡司電鏡）。這再次說(shuō)明，標(biāo)樣的無(wú)比優(yōu)良和掃描電鏡（電子探針）測(cè)長(zhǎng)的有效性和精確的程度。